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变极距电容传感器原理如图1.4-1。图a中上面的极板为定极板，下面的极板为动极板。当动极板受被测物体作用引起位移时，改变两极板之间的距离d，使电容量发生变化。设初始极距为d0，初始电容量C0＝εA/d0。当动极板位移，使极板间距减小x值后，电容值变大。
图1.4-1 变极距电容传感器
Cx＝C0
(1.4-2)
ΔC=Cx-C0＝C0
(1.4-3)
由式(1.4-3)可见，电容量C与位移x不是线性关系，其灵敏度不为常数：
K=＝
(1.4-4)
一般变极距式电容传感器初始电容量设置在十几pF至几十pF之间，极距d0在100～1000μm范围内，最大位移为两极板间距的1/10～1/4，电容的变化量可达2～3倍。
图1.4-2 电容差动式传感器原理
为了提高传感器的灵敏度， ...... （共914字） [阅读本文]>>
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