5.10 监视传感器
分类：欧姆龙自动化系列产品183字
1. LCD封口外形传感器 Z5FP
实现了LCD封口的在线形状计测。为FPD制造工程的品质提高作出了很大的贡献。
特点：追求封口形状计测时最合适的计测性能，实现稳定计测的欧姆龙独特的多灵敏度调整功能。
2.等离子监视器 Z5PM
监测2波长的等离子发光量。实现了高精度，小型化，低价格。
特点：轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测 ...... （共183字） [阅读本文]>>
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