2.2.2 掩模写制技术
掩模写制技术(MWT)有相位掩模技术(PMT)与振幅掩模技术(AMT)之别。
1) 相位掩模技术
相位掩模技术亦称相位光栅衍射相干技术,由K. O. Hill等人[8]提出并实现,其光栅写制装置及FBG光谱如图2-3所示。
图2-3 相位掩模技术成栅装置及FBG反射谱
(1) 成栅机制。
入射的紫外光经相位模板空间调制,在掩模板后形成不同周期的衍射条纹,使纤芯的折射率形成周期性分布。
(2) 优缺点。
该技术的优点是稳定、重复性好、对光源的相干性要求较低、适于大规模生产;其缺点是每块掩模板只能制作固定(或稍有差异)周期的光纤光栅,且须严格控制掩模板的刻蚀深度和占空比,高质量的模板造价高。
(3) 使用情况。
该技术目前被 ...... (共635字) [阅读本文]>>