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2.2.2 掩模写制技术

分类:光纤光栅635字

掩模写制技术(MWT)有相位掩模技术(PMT)与振幅掩模技术(AMT)之别。

1) 相位掩模技术

相位掩模技术亦称相位光栅衍射相干技术,由K. O. Hill等人[8]提出并实现,其光栅写制装置及FBG光谱如图2-3所示。

图2-3 相位掩模技术成栅装置及FBG反射谱

(1) 成栅机制。

入射的紫外光经相位模板空间调制,在掩模板后形成不同周期的衍射条纹,使纤芯的折射率形成周期性分布。

(2) 优缺点。

该技术的优点是稳定、重复性好、对光源的相干性要求较低、适于大规模生产;其缺点是每块掩模板只能制作固定(或稍有差异)周期的光纤光栅,且须严格控制掩模板的刻蚀深度和占空比,高质量的模板造价高。

(3) 使用情况。

该技术目前被 ......     (共635字)    [阅读本文]>>

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