工业用直流和射频辉光放电都因使用磁场而得到改善。
① 磁约束可提高功率利用率并提高直流或射频辉光放电的数密度。
② 在等离子体或离子源中，要求尽可能多的电离气流，磁场还能提高质量利用率。
③ 与壁平行的磁场能减少带电粒子对壁的轰击和相关的溅射，从而降低杂质浓度。
④ 在一定的参数范围内，磁场能提高辉光放电工作的稳定性。
⑤ 磁场能用来控制等离子体形状和提高表面相互作用的均匀性。
⑥ 在很多等离子体处理应用中，磁场还能用来聚焦或提高离子轰击的垂直度。
为了有效地利用磁场，有必要使等离子体磁化，即必须遵守下面两条准则：
① 对带电粒子 (电子) 在它所研究的碰 ...... （共2611字） [阅读本文]>>
等离子体是物质存在的又一种基本形态。人们知道世界上的物质有固态、液态、气态这三种状态，并且在一定的温度和压力下，固、液、气三态之间是可以互相转化的，而且物质的不同聚集态对应着物质粒子(原子、分子和离子)
等离子体的历史可以追溯到200多年前。1672年威廉(Gottfriedwilhelm)首次在旋转硫磺球上发现了人工条件下的电火花，他经过研究，揭示了气体放电的奥秘。之后许多学者逐渐对气体放电现象产生兴
1.3.1.1等离子体物理它是物理学科的一个分支，包括支配等离子体行为的基本定律和物理过程。其两个重要的子领域是：磁流体动力学(MHD)，涉及在磁场中电流体(包括等离子体)的性能;电流体动力学(EHD)
1.3.2.1国际研究状况在美国，工业应用主要由一些公司，特别是大公司进行研究与开发。如热等离子体方面，Westing-house公司研制了大功率等离子体发生器，并用于冶金、废料处理、材料加工等方面。通
等离子体是电离了的气体。它由电子、离子和中性粒子三种成分组成。其中电子和离子的电荷总数基本相等，因而作为整体是电中性的。然而因为等离子体不仅可以包含带单个电荷的离子，也可以包含带多个电荷的离子，因此一般
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