第29问 面板中的ESD防护有哪些
ESD(Electro Static Discharge)的意思是“静电释放”。ESD是20世纪中期以来形成的以研究静电的产生、危害及静电防护等为主的学科,国际上习惯将用于静电防护的器材统称为ESD。
在大规模半导体制造业中,ESD一直扮演着重要角色,尤其对于TFT-LCD制造业和IC制造业,在设计、制造、测试和运送过程中都要考虑ESD的影响。在IC制造中,由于半导体制程逐渐向亚微米过渡,ESD比较容易击穿微细元件的中间绝缘层造成短路,因此目前ESD已经成为影响IC及其元件可靠性的主要因素。
对于国内正在兴起的TFT-LCD制造业,其在生产、测试和搬送过程都不可避免地会引入静电。摩擦和接触产生的瞬时千伏电压可以产生约20 A的 ...... (共881字) [阅读本文]>>