第41问 什么是黄光区
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黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区,包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序。之所以称为黄光区,主要是此区域的照明采用黄色光源,看起来黄黄的一片。为什么要使用黄光而不是其它颜色光源照明?主要原因是在半导体工业普遍使用的光刻胶类似于相机的胶片,在遭遇光线照射(特别是紫外线)即有曝光之效果,因此在显影之前都要远离此类光源。因为黄光的波长较长,不容易使得光刻胶曝光,因此将黄光作为显影前最理想的照明光源 ...... (共203字) [阅读本文]>>