第2章 基于MEMS技术的柔性测斜装置
近年来,随着MEMS微电子技术的发展,钻孔位移测量装置出现了一种新的监测设备类型(图2-1,图2-2),即以Measurand.Inc生产的SAA(Shape Accel Array)和C.S.G生产的DMS (Differential Monitoring of Stability)为代表的柔性测量装置(图2-3)。这两类设备摒弃了钻孔监测中常用的测斜管,而代之以高强度的阵列式固定长度测量单元,单元间使用能承受较大应力与变形的柔性接头进行连接。设备内部使用了阵列排布的高精度低功耗的MEMS传感器进行直接测量,因此其测量精度、敏感度均超出现有的测量装置。除位移外,设备还可以通过对传感器的集成实现温度、压力等物理量的测量。传感器外由于使用高强度的机械结构进行封装, ...... (共1041字) [阅读本文]>>