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离子束冶金学 ion beam metallurgy

分类:材料科学与工程866字

20世纪70年代末发展起来的,研究高能(几十至几百KeV)离子注入固体材料后引起材料结构和性能的变化(所谓离子束表面改性)、注入机制和理论以及离子注入的实际应用的一门新兴学科。离子注入的方式有多种,包括直接注入(将所需添加的合金元素离子通过加速器加速后直接注入固体表面)、反冲注入(将所需添加的合金元素先镀在固体表面,再注入惰性气体离子(如Xe+),利用其动能将镀层元素反冲到基体中)、动态反冲注入 (一面将所需添加的合金元素溅射到固体表面,一面同时用高能惰性气体离子轰击)等。注入的元素不限于一种。例如,可以在固体表面交替沉积不同的元素,然后用惰性气体离子轰击 ......     (共866字)    [阅读本文]>>

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