ESC是Electro Static Chuck的缩写，中文意思是静电吸附卡盘。这个装置设置在真空腔室中，使用静电吸附玻璃基板。
而所谓静电吸附，是当一个带有静电的物体靠近另一个不带静电的物体时，由于静电感应，没有静电的物体内部靠近带静电物体的一边会集聚与带电物体所携带电荷相反极性的电荷(另一侧产生相同数量的与带电物体同极性电荷)，由于异性电荷互相吸引，就会表现出“静电吸附”现象。
ESC使用举例：在真空贴合腔室中，由于阵列基板与彩膜基板必须膜面对立进行贴合，但在真空环境下无法使用真空吸盘固定玻璃基板反转，此时就需要使用ESC装置。如图1所示为静电吸附示意图。
图1 静电吸附 ...... （共288字） [阅读本文]>>
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