第20问 什么是薄膜应力
通常薄膜由它所附着的基体支承着,因此薄膜的结构和性能受到基体材料的重要影响。薄膜与基体之间构成相互联系、相互作用的统一体,这种相互作用宏观上以两种力的形式表现出来:其一是表征薄膜与基体接触界面间结合强度的附着力;其二则是反映薄膜单位截面所承受的来自基体约束的作用力——薄膜应力。薄膜应力在作用方向上有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面收缩的趋势,则基体对薄膜产生张应力;反之,薄膜沿膜面的膨胀趋势造成压应力(如图1所示)。应该指出,薄膜和基体间附着力的存在是薄膜应力产生的前提条件,薄膜应力的存在对附着力又有重要影响。
图1 薄膜压缩和拉伸 ...... (共1162字) [阅读本文]>>