第25问 什么是金属氧化物薄膜晶体管[1]
随着液晶显示器尺寸的不断增大,驱动电路的频率不断提高,现有的非晶硅薄膜晶体管的迁移率很难满足需求。这是因为非晶硅薄膜晶体管的迁移率一般在0.5 cm2/(V·s)左右,而液晶显示器尺寸超过70英寸,驱动频率在120 Hz时就需要1 cm2/(V·s)以上的迁移率了。高迁移率的薄膜晶体管材料有多晶硅和金属氧化物。尽管对多晶硅薄膜晶体管的研究比较早,但是多晶硅薄膜晶体管均一性差,制作工艺复杂;而金属氧化物IGZO迁移率高,均一性好,透过率高,制作工艺简单,近年来备受业内关注。2003年,J.F.Wager,R.L.Hoffman等人分别在Science, Applied Physics Letters等权威杂志上发表了以ZnO TFT为代表的透明氧化物薄膜晶 ...... (共1842字) [阅读本文]>>