第26问 什么是金属配线的台阶覆盖率
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在面板不良中,配线的断线是常见的不良。在点灯检查时,一般是使用面板周边的修复线进行修复。而发生断线有很多原因,其中一个原因是金属配线的台阶覆盖率(Step Coverage)太低。
台阶覆盖率的计算公式为
该公式的示意图如图1所示。
图1 台阶覆盖率示意图
图2 台阶覆盖率过低示意图
台阶覆盖率与底层的G配线Taper形状和G膜厚相关(如图2所示)。锥角低,G膜厚薄则台阶覆盖率大。台阶覆盖率越大,则断线不良率降低 ...... (共201字) [阅读本文]>>