第37问 为什么Mask上需要增设保护膜
在制作掩膜板(Mask)的最后,需要在图层表面装上保护膜(蒙皮),目的是为了保护Mask上不会吸附灰尘,避免产生曝光不良。虽说装配了保护膜可以让掩膜板远离灰尘,但是灰尘粘附在保护膜上就不会产生曝光问题吗?答案是显然的。
如图1所示为阵列工程使用的投影式曝光机示意图,从图中可以看到在Mask与玻璃基板之间安置了复杂的光学机构,这些光学机构主要用来调整曝光精度、曝光图形的形状等,而且在曝光机中最贵的部件也就是当中的光学系统了。已知Mask是通过光学投影的方式实现曝光,Mask和玻璃基板必定位于光学系统的焦点上,Mask上的图形才可以有效地成像在玻璃基板上。而此时,如果在Mask ...... (共493字) [阅读本文]>>