0.4.1 晶体硅薄膜太阳能电池
有很多种方法可以制备晶体硅薄膜太阳能电池。其中,外延晶体硅薄膜太阳能电池(epitaxial crystalline silicon thin film solar cell)与晶体硅太阳能电池的制备方法非常接近。这种方法是在低成本Si载体(carrier)衬底上外延生长较好电学质量(electronic quality)的晶体硅薄膜,如图0.4(a)所示。这种太阳能电池结构非常类似于晶体硅太阳能电池,因此其制备工艺与光伏产业现行的工艺很相近。特殊的情况是外延层的剥离(lift-off)技术,通过多孔晶体硅模板,在电池工艺之前或之后剥离,得到晶体硅薄膜太阳能电池。
除了这种Si衬底的外延生长技术外,还有一些方法是不需要Si衬底的。因为薄膜沉积温度(temperature, T)>600 ...... (共695字) [阅读本文]>>