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3.3.1　制造小器件的方法

分类：纳米物理与纳米技术233字

微电子加工技术能够在1cm2的面积内制造出包含几百万个工作元件的复杂的平面结构，这种加工技术同样适于用微米尺度的元件制造基本的平面力学机器。

涡轮机叶轮是其中的一个例子，如图3.7所示。这个放射式的流入涡轮机是采用深反应离子刻蚀法用硅制作的。人们设想一个体积为1cm3的碳氢化合物燃烧气体涡轮发电机用这种方法制作出来，可以产生50W的功率，是大多数最先进的电池材料功率的10～30倍。

图3.7　深反应离子刻蚀法制造的涡轮机叶 ......     （共233字）    [阅读本文]>>

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