第15问 什么是非晶硅和非晶硅TFT
在描述非晶硅之前,我们先了解一下什么是“晶体硅”。晶体硅的制法大致是先用碳还原SiO2成为Si,再用HCl提纯获得更高纯度多晶硅;而单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中制得棒状单晶硅。硅的单晶体是具有基本完整的点阵结构的晶体,它是一种良好的半导材料,纯度可达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上,用于制造半导体器件、太阳能电池等。
在平板显示中,我们没有听说使用单晶硅来做TFT,主要原因是平板显示是低温薄膜工艺,无法满足单晶硅的制备条件。而硅材料之所以会跟平板显示产业发生联系,原因在于在主动式平板显示面板中,每个像素 ...... (共1319字) [阅读本文]>>