第16问 什么是多晶硅和多晶硅TFT
多晶硅从分子结构上来看,短程类似于晶体硅,有着规则的硅原子排布,但是在长程上却存在很多晶界,晶界处硅原子发生断层。可以把多晶硅看成由若干个单晶硅组成的半导体材料,电子在单晶之间移动非常迅速,但要穿过晶界其速度会减慢,但是总体的电子迁移率则远远高于非晶硅。
在多晶硅技术发展的初期,为了将玻璃基板从非晶硅结构(a-Si)转变为多晶硅结构,就必须借助一道激光退火的高温工序,此时玻璃基板的温度将超过1000 ℃。众所周知,普通玻璃在此高温下就会软化熔融,根本无法正常使用,而只有石英玻璃才能够经受这样的高温处理。但石英玻璃不仅价格昂贵且尺寸都较小,无法 ...... (共1976字) [阅读本文]>>