1.1.5 光学薄膜的不均匀性
实际的光学薄膜,由于在沉积过程中工艺条件的变化,在薄膜生长方向上折射率会发生相应的变化,这种现象叫做薄膜的不均匀性,而折射率具有确定的不均匀性的薄膜叫做非均匀膜或渐变折射率薄膜。
1.1.5.1 不均匀性对光学薄膜性能的影响
在薄膜沉积的过程中,沉积参数会在一定条件下发生变化。这时,薄膜的折射率也会发生相应的变化。若真空度变高,基体温度增加,沉积速率变快,则薄膜的致密性增加,折射率变大;反之,薄膜致密性降低,折射率变小。薄膜的折射率逐渐变大,称为折射率正变;折射率逐渐变小,称为折射率负变[10]。
假设薄膜折射率的最小值和最大值分别为n1和n2,折射率在 ...... (共6125字) [阅读本文]>>