0.3.1 薄膜的定义
到底怎样来界定“薄膜”和“厚膜”呢?薄膜定义[7]为:通过凝固(condensation)或化学反应(chemical reaction),发生随机的成核(nucleation),在衬底(substrate)上积累原子、离子或分子。由于各种薄膜的厚度从几nm到几十μm不等,所以很难从厚度上定义,而是从制备过程上定义。薄膜的化学、冶金学和物理学特性,也很大程度上取决于薄膜厚度和其他沉积参数。另外,还有所谓的厚膜技术(thick film technique),如削磨块状材料(thinning bulk material)、丝网印刷(screen printing)、电泳(electrophoresis)、浆料喷涂(slurry spray)、等离子体喷枪(plasma gun)和消融(ablation)等。而制备薄膜的技术包括:等离子体(plasma)、溅射(sputtering)、蒸发(eva ...... (共516字) [阅读本文]>>