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四、几种显微镜的比较

分类：扫描电镜与能谱仪分析3054字

光镜(OM)的出现，开辟了微观视野。1939年德国人B.Borris和E.Ruska推出第一台商业透射电镜(TEM)，分辨率提高到亚微米范围。透射电镜与光镜有许多类同之处，例如：光源、分辨率、放大倍率、透镜、像差、衍射等光学术语均通用。两者之间的差异有几个方面，透射电镜是利用高能短波长电子束照明样品代替光镜使用的可见光，电镜利用电磁透镜组合构成电子光学成像系统，现代透射电镜放大倍率可高达数十万倍，分辨率优于0.2nm。到20世纪60年代，第一台商用扫描电镜(SEM)由英国Cambridge 科学仪器公司推出。如图1-5所示，荧光显示屏6英寸，分辨率50nm，电子系统全部使用电子管，其成像原理与上述两种系统 ......     （共3054字）    [阅读本文]>>

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