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二、相互作用区

分类：扫描电镜与能谱仪分析978字

弹性散射过程和非弹性散射过程是同时发生的，前者使束电子偏离原来运动方向，并使电子在样品内部扩散，后者使电子能量逐渐减少直至被样品完全吸收，因此限制了电子束的扩散范围，电子束的能量完全沉积在扩散区内，同时产生大量所需要检测的各种二次辐射，这个区域称为相互作用区。应该明确相互作用区是在样品表面下的一个体积(Volume)概念。搞清楚相互作用区的大小、形状与样品材料、电子束参数的关系，对于正确解释扫描电镜图像和成分分析结果是非常必要的。

相互作用区可以通过实验直接观察或者由Monte Calro计算法得到。在计算法中详细计算某一入射电子在样品中的运动轨迹，把它 ......     （共978字）    [阅读本文]>>

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