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一、散射

图2-1 电子散射示意图

(a)弹性散射,碰撞后的瞬间能量Ei=Eo;

(b)非弹性散射,瞬间能量Ei≪Eo,φi≪φe。

在扫描电镜镜筒中,电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速,入射到样品中,束电子与样品原子核或核外电子发生多种相互作用,而被散射,引起束电子的运动方向或能量(或两者同时)发生变化,从而产生各种反映样品特征的信号。利用相应的探测器检测这些信号,获得样品的不同特征。相互作用过程可大致分为弹性散射过程和非弹性散射过程两类。图2-1所示为Eo能量的高能电子与样品原子相互碰撞后发生的两个散射过程。

1.弹性散射过程

高能入射电子与原子核发生碰撞或作用,由于原子核的质 ......     (共790字)    [阅读本文]>>

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