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四、电子背散射衍射技术

分类：扫描电镜与能谱仪分析4581字

电子束入射样品时产生大量背散射电子，如果是无定形样品，背散射电子像的衬度与入射电子束方向关系不大，但在晶体样品中，存在一种与晶体取向相关的衬度像，这就是背散射电子衍射(Electron backscatter diffraction， 简称EBSD)现象。这种衬度与所测晶体的晶体结构有关，反映样品晶体学信息，将其与形貌、化学成分综合研究可以对材料微观特征进行比较全面的分析。

当前EBSD技术集中用于冶金工业，例如对金属和合金的冶炼、加工的研究;确定热处理和成形加工过程对材料晶体结构的影响，为生产工艺的优化提供必要的科学依据。另外，EBSD技术在半导体、超导、陶瓷、矿石等领域的研究工作也有不少 ......     （共4581字）    [阅读本文]>>

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