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一、安装

通常整套扫描电镜包括:主机、机械泵、空压机、电器柜、循环冷却水、不间断电源(UPS)、高纯氮气瓶、制样设备等。其中主机、机械泵、电器柜可以放在电镜室内。电镜室面积最好在20m2~30m2之间,可以足够安装能谱、波谱,以及电子背散射衍射等附件,设备距离周围墙壁留有较宽的通道,便于日常维护和检修。室内高度至少2.5m,这样使用者才不会有压抑感。电镜室旁边应有一侧房,安放空压机、循环冷却水、UPS和电池箱、氮气瓶,如果机械泵噪声大,也可以放在此房。注意,机械泵的位置应该尽量靠近电镜房,使真空管道不会过长,否则会影响抽真空效率。制样设备安放在制样室。

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