2.4.3 雕塑薄膜的制备及结构特征
雕塑薄膜的概念最早由Young和Kowal于1959年提出[5],但是,受到当时探测条件和工艺水平的限制,他们没有探测到薄膜的双折射特性。在以后的三十多年中,双折射薄膜的研究没有获得实质性的进展。直到1995年,Robbie小组改进并发展了Young的设计思想和方法,制备了结构稳定的MgF2 雕塑薄膜[6],并用扫描电镜观察到薄膜的螺旋结构。这一发现使雕塑薄膜受到薄膜界广泛关注。随后,雕塑薄膜的设计和制备都得到快速的发展,成为光学薄膜的研究热点之一。
1) 雕塑薄膜的制备方法
雕塑薄膜的制备主要依赖于斜入射沉积(glancing angle deposition, GLAD)技术。使用物理气相沉积时,首先将基底倾斜,使基底表面法 ...... (共1447字) [阅读本文]>>