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1.3.1 绒面衬底上的外延生长

分类：薄膜太阳能电池784字

第一种增加外延层的光吸收技术是在外延生长之前，运用化学方法在衬底上制绒(texturing)。但是，这种技术仍然有缺点。外延生长形成的小平面(facet)会使绒面(textured surface)结构变得平坦，从而减小绒面工艺的有效性。而且，由于外延生长前的表面已经相当粗糙，外延层的缺陷密度将会很高，结果很难实现较高的开路电压Voc。

绒面也可以通过机械方法制备，如图1.8所示。机械方法比较直接，外延生长前在Si衬底上刻划凹槽(groove)，共形生长(conformal growth)使有源层中的光程长增加，如图1.8(a)所示。有研究探讨了反射达到最小的凹槽结构[50]。当把绒面技术应用于多晶硅衬底时，需要考虑外延层的小平面生 ......     （共784字）    [阅读本文]>>

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