1.4.1 实验室成果
外延晶体硅薄膜太阳能电池的优势是低成本的Si衬底,已经有了基于单晶硅和多晶硅衬底的不少实验室成果。在20世纪90年代,有数个实验室报道了高掺杂单晶硅衬底上生长外延晶体硅薄膜太阳能电池的研究成果,证明了较高的转换效率潜力。外延层的生长技术以化学气相沉积CVD[70]和液相外延LPE[71, 72]为主,高掺杂单晶硅衬底的实验室成果确认了外延晶体硅薄膜太阳能电池的高转换效率潜力,见表1.2。通过注氧隔离(Separation by IMplantation of OXygen, SIMOX)或背面蚀刻(etching back),可以制备氧化物中间层,用绝缘体上硅(Silicon On Insulator, SOI)形成掩埋背反射镜的陷光结构。一些报道认为,高掺杂Si衬底和外延 ...... (共1109字) [阅读本文]>>