1.5 高生产速率沉积
虽然外延晶体硅薄膜太阳能电池的生产工艺与经典的晶体硅太阳能电池很相似,但是这种技术的发展需要解决两个问题。
第一个问题是实现低成本Si衬底的商业化。在短期内,基于冶金级硅MG-Si衬底的外延晶体硅薄膜太阳能电池可以实现14%~15%的转换效率。需要大幅增加生产MG-Si原料的产能(production capacity),大规模地制备MG-Si的硅锭(silicon ingot)和硅片。
第二个问题是发展高生产速率的沉积设备,实现以数m2/h的速率生长外延层,外延层的厚度在5~20μm范围。微电子领域发展的商业化外延反应腔(epitaxial reactor)需要实现1%量级的厚度均匀度和掺杂均匀度。相对而言,外延晶体硅薄膜太阳能电池要求的生产速 ...... (共1139字) [阅读本文]>>