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1.5.2.2 分批式液相外延

分类：薄膜太阳能电池469字

如果大规模生产的液相外延LPE采用连续的在线式工艺，比不上分批式工艺，因为溶解的Si会不断地减少，需要在每一次外延生长后更换溶液。在分批式液相外延(batch type liquid phase epitaxy)中，将16片衬底同时浸润在“无限源”(infinite source)中，使分批式液相外延非常适合大规模生产的要求[98， 99]，如图1.27所示。分批式液相外延的一个独特优势是可以进行回熔(melt back)，在每次生长工艺前将高纯冶金级硅UMG-Si熔于坩埚(crucible)中[99， 100]，而不使用电子级硅作为硅源材料(silicon source material)。分批式液相外延对Si材料的升级比对冶金级硅的提纯使用更少的能量。分批式液相外延生长的3cm2小面积外延晶体硅薄 ......     （共469字）    [阅读本文]>>

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