2.2.1.1 材料要求
制备异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池的高温工艺具有较高的Si沉积速率,而且再结晶后的晶粒尺寸较大,外延层的缺陷密度较低。但是,必要的温度稳定性(temperature stability)限制了异质衬底材料的选择,因为需要满足以下要求:
● 机械稳定性(mechanical stability)和化学稳定性(chemical stability):一个对异质衬底的基本要求是高温工艺中的机械稳定性。丝网印刷和层压(lamination)要求抗弯强度(bending strength)约为150MPa[11]。至于化学稳定性,异质衬底材料需要在区熔再结晶ZMR过程中与液相Si不发生化学反应。还需要防止有害杂质从异质衬底扩散到Si有源层。对于这两个化学稳定性问题,引入中间层进行阻挡可以降低 ...... (共1273字) [阅读本文]>>