2.2.1.2 低成本异质衬底
异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池可以选用的低成本异质衬底包括:
● Si3N4陶瓷[19, 20];
● ZrSiO[21]4;
● 渗硅碳化硅(Silicon infiltrated Silicon Carbide, SiSiC)陶瓷[22];
● 反应结合碳化硅(Reaction Bonded Silicon Carbide, RBSiC)陶瓷[23];
● 基于Al2O3的陶瓷[24];
● 富铝红柱石(mullite)陶瓷[25, 26];
● 赛伦(Silicon Aluminum OxyNitride, SiAlON)陶瓷[27, 28];
● 石墨(graphite)[12, 29];
● 粉末生长带硅SSP[28, 30]。
并不是所有这些异质衬底材料都满足上节中提出的要求。例如,Al2O3的热膨胀系数TEC与Si相差很大,所以Al2O3衬底只能直接沉积Si,而不能使用区熔再结晶ZMR。为了读者能够较好地理解以下章节,这里需要更加详细地介绍这些低成本异 ...... (共1966字) [阅读本文]>>