2.2.2 中间层
异质衬底的低成本水平和化学纯净度往往不能同时满足。如果不制备起到阻挡作用的中间层,Si有源层很难达到一定的纯净度(purity)。单质形式的金属元素化学特性不稳定,而金属氧化物更合适制备中间层[33]。中间层需要满足以下要求:
● 机械稳定性和化学稳定性:最重要的要求是在温度高达1450℃的区熔再结晶ZMR工艺中,中间层达到一定的机械稳定性和化学稳定性。不然,会出现非理想的Si籽晶层沉积、非均匀ZMR以至于籽晶层结构完全损坏、衬底杂质对Si层的污染等问题。
● 阻挡杂质扩散:中间层需要成为有效的扩散阻挡层(diffusion barrier layer或diffusion blocking layer),阻挡具有电活性的杂质从异质衬底 ...... (共1128字) [阅读本文]>>