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三、样品受激发出射的主要信号

分类：扫描电镜与能谱仪分析4141字

1.背散射电子(Backscattered electron，简称BSE)

以实验为例：用已知量的束流入射到正偏置的样品中，仅约70%的电子能量消耗在作用区内，其余30%的电子从样品中背散射出来，这是背散射电子。起因是由于部分入射电子受到样品原子核在任意方向上的弹性散射，而能量变化不大。其中某些电子可能仅受到单次(或有限的几次)大角散射，即刻反转过来，离开样品，基本保持入射电子能量，通常称其为弹性背散射电子。还有些电子在样品中损失了不同程度的能量，经过多次(几十次甚至几百次)各种非弹性散射事件，能量损失越来越多，其方向也明显改变，当最终散射过程接近表面附近时，若总的散射角φ>90°时 ......     （共4141字）    [阅读本文]>>

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