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三、扫描电镜分类

目前市场上提供的商品扫描电镜分为两类:场发射扫描电镜(FEG SEM)和常规扫描电镜(Conventional SEM,简称C SEM),两类电镜的主要性能指标对照如表3-5所示。

表3-5 场发射与常规扫描电镜主要性能指标对照表

1.场发射扫描电镜

场发射扫描电镜属于高分辨型电镜,使用场发射枪,如同一个2000W特种光源,亮度高,可以照明样品各个部位的细节。电子束斑直径小于1nm,能够把样品1nm尺度的细节成像,可以真正实现低加速电压下工作。提供的高分辨率图像可以与同样放大倍率下的透射电镜图像进行对比。现代FEG SEM克服了早期电子源不稳定和使用麻烦的缺点,场发射电子枪参数一经设定后,全部由计算机控制, ......     (共1430字)    [阅读本文]>>

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