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二、扫描电镜的结构

分类：扫描电镜与能谱仪分析6779字

扫描电镜是由电子光学系统(镜筒)、扫描系统、信号检测和放大系统、图像显示和记录系统、电源和真空系统、计算机控制系统等部分组成，如图3-8所示。各部分的主要功能将分别予以介绍。

图3-8　扫描电镜结构图

C—电子枪;CL—聚光镜;OL—物镜;SC—扫描线圈;BSED—背散射电子探测器

1.镜筒部分

镜筒部分主要由电子光学系统组成，包括电子枪、聚光镜、物镜、扫描系统、物镜光阑、合轴线圈和消像散器。

在扫描电镜中，高能电子束入射固体样品，所发射的信号强度(二次电子、背散射电子和X射线等)取决于入射电子束流的大小，而对于被测信号而言，仪器的最佳分辨率又取决于到达样品的最终束斑尺寸。 ......     （共6779字）    [阅读本文]>>

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