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二、成分衬度

分类：扫描电镜与能谱仪分析2292字

电子束与样品相互作用产生某些与样品微区原子序数或化学成分有关的物理信号，例如背散射电子、吸收电子和特征X射线。检测这些信号成像，可以显示出微区内化学成分或原子序数的差异，这称为成分衬度像。

1.背散射电子像的成分衬度

在检测表面光滑平整的样品时，没有微区形貌干扰，如果样品由纯元素构成，电子束扫描到不同部位，样品的出射信号除电噪声起伏外，观察不到任何衬度。但是，如果样品是由两种原子序数分别为Z1和Z2的纯元素组成，并且Z2>Z1，两者之间有明显的界面分开，见图4-12，当电子束扫描从Z1区通过界面到Z2区时，检测到样品出射信号的强度不同，Z2区比Z1区的背散射电 ......     （共2292字）    [阅读本文]>>

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