您现在的位置是：首页 > 科普 > 扫描电镜与能谱仪分析

二、分辨率限度

分类：扫描电镜与能谱仪分析3230字

图5-1　两个最近像点的间距

分辨率是扫描电镜的重要指标，通常定义为可分辨开的两个最近物点的距离。通常利用测量分辨率的标准样品，拍摄二次电子像，在图像上测量可分辨开的两个最近像点的间距bmin(见图5-1)，除以放大倍率M，即为分辨率R：

电子束与样品相互作用过程中产生的各种物理信号来自不同的取样深度，选用不同的信号成像，就会得到不同的分辨率。二次电子能量低，一般小于50eV，在样品中穿行的平均自由程不足10nm，只能从表面浅层里出射，在这个区域里，入射电子与样品原子仅发生有限次数的散射，基本上未经横向扩散就激发出大量二次电子。因此，认为在样品上方检测到的二次 ......     （共3230字）    [阅读本文]>>

其他相关分类

推荐内容

  • 扫描电镜与能谱仪分析

    一、分辨率和光的衍射

    1.人眼分辨率人眼分辨率通常指在正常照明条件下，肉眼可以分辨出两个最近物点的距离。一般认为在250mm的明视距离上，人眼分辨率为0.2mm，如图1-1所示。图1-1人眼分辨率为了提高分辨率，通常借助光学

    1205字 98
  • 扫描电镜与能谱仪分析

    二、电子波和电磁透镜

    1.电子波鉴于电子的波动性，德布罗意认为带电粒子与光波之间极为相似，具有波动性，电子波就是一种德布罗意波。式中：h为普朗克常数;m为电子质量;v为电子运动速度。当电子初速为0时，在电场中从0电位开始运动

    1115字 127
  • 扫描电镜与能谱仪分析

    三、电磁透镜的像差

    当用放大镜读报纸时会发现，镜片中心附近的文字清洗可辨，而在镜片边缘的文字模糊不清，而且黑色的文字周围均有五彩的色边。这是失真的图像，是由于透镜成像的像差造成的。电磁透镜也有像差，它不能把一个理想的物点聚

    1301字 174
  • 扫描电镜与能谱仪分析

    四、几种显微镜的比较

    光镜(OM)的出现，开辟了微观视野。1939年德国人B.Borris和E.Ruska推出第一台商业透射电镜(TEM)，分辨率提高到亚微米范围。透射电镜与光镜有许多类同之处，例如：光源、分辨率、放大倍率、

    3054字 115
  • 扫描电镜与能谱仪分析

    一、散射

    图2-1电子散射示意图(a)弹性散射，碰撞后的瞬间能量Ei＝Eo;(b)非弹性散射，瞬间能量Ei≪Eo，φi≪φe。在扫描电镜镜筒中，电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速，入射到

    790字 98