三、电子束斑直径与束流的关系
分类:扫描电镜与能谱仪分析595字
电子束的最终束斑尺寸dp直接影响图像分辨率。人们总希望电子光学系统可以提供最小的束斑dmin,又可获得最大的束流imax,这就必须建立imax~dmin之间的关系。最终束斑直径dp从公式(5.2)导出:
将各直径分别代入上式:前两项为衍射和球差的影响,当加速电压在10kV~30kV时第三项色差不考虑。将上式dp相对孔径角α进行微分求最大值,得到一个最佳的αopt,这时束流i应该最大,束斑直径应该最小,其关系如下:这就是束斑直径和束流的理论限度,Jc为电流密度(A/cm2),T为绝对温度(K),公式(5.4)中括号外的系数部分表示了当束流i为零时的束斑极限直径,实际上束流是不可能为零的。公式(5.5)可简化为 ...... (共595字) [阅读本文]>>
式中