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三、电子束斑直径与束流的关系

电子束的最终束斑尺寸dp直接影响图像分辨率。人们总希望电子光学系统可以提供最小的束斑dmin,又可获得最大的束流imax,这就必须建立imax~dmin之间的关系。最终束斑直径dp从公式(5.2)导出:

将各直径分别代入上式:

前两项为衍射和球差的影响,当加速电压在10kV~30kV时第三项色差不考虑。将上式dp相对孔径角α进行微分求最大值,得到一个最佳的αopt,这时束流i应该最大,束斑直径应该最小,其关系如下:

这就是束斑直径和束流的理论限度,Jc为电流密度(A/cm2),T为绝对温度(K),公式(5.4)中括号外的系数部分表示了当束流i为零时的束斑极限直径,实际上束流是不可能为零的。公式(5.5)可简化为 ......     (共595字)    [阅读本文]>>

式中
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