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二、低真空成像技术

分类：扫描电镜与能谱仪分析2928字

对于某些导电性差的材料，例如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维，或者含水的动植物样品，要求直接观察微观形貌，使用常规高真空扫描电镜受到限制。现在各电镜厂家均可提供低真空(Low vacuum)或可变压力(Variable pressure)操作模式，通常在电镜型号后缀有LV、VP或者N(Nature)，以便识别。这类扫描电镜具备两种工作模式，即高真空模式(HV)和低真空模式(LV)供选择。

1.特点

(1)直接观察不导电材料或动植物样品

常规扫描电镜样品室的真空度保持小于10-3Pa高真空，对样品有严格要求。而LV模式下样品室的真空压力可以调节，通常在1Pa～130Pa之间可变，有的可以变化到300Pa或500Pa。样品室的真空 ......     （共2928字）    [阅读本文]>>

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