一、低电压成像技术
扫描电镜通常使用10kV~30kV加速电压工作,可获得优质图像;微区成分分析也能提供可靠的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品,例如:半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等,有时不允许进行导电处理,而要求直接观察。这对扫描电镜提出了新课题,近年来各厂商推出的电镜具备低加速电压下的操作功能,即选用1kV~5kV或更低的加速电压,适合上述样品的观察,促进了低加速电压成像技术的发展。
1.优点
(1)增强样品表面形貌和成分衬度
根据电子束与样品相互作用的原理,选用低加速电压,即意味着使用低能电子束,入射样品后受到散射的 ...... (共5499字) [阅读本文]>>