1.2 光学薄膜的力学性质
光学薄膜的力学性质主要包括应力、附着力、硬度、力学强度及其相关的力学参数。其中,应力是光学薄膜重要的力学性质。它的存在,不仅会造成光学薄膜起皱、破裂和脱落等直接破坏,还会通过膜层与膜层之间、膜层与基底之间的相互作用,影响薄膜和光学系统的光学性质以及薄膜的抗激光强度。是光学薄膜乃至所有薄膜科学中最重要的研究课题之一。这里主要讨论与应力相关的力学问题。
薄膜是厚度介于单原子层至数十微米之间的固体薄层,表面能态与体内能态的差异造成了薄膜与大块材料之间在结构和性能上的不同。所以,对于金属、陶瓷、半导体等无机物薄膜及有机物薄膜来说,无论是 ...... (共480字) [阅读本文]>>