从作用方向上来看。薄膜应力有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面膨胀的趋势则基底对薄膜产生压应力，如图1-2-1(a)所示;相反，薄膜沿膜面的收缩趋势造成张应力，如图1-2-1(b)所示。一般定义张应力为正应力，压应力为负应力。过大的张应力或压应力都会导致薄膜失效。图1-2-2为不同应力作用下薄膜的失效形式。当基底薄膜界面附着不是很牢固时，张应力过大会使薄膜分层(图1-2-2(a));当基底与薄膜界面附着牢固而薄膜本身力学强度不是很高时，张应力过大则会使薄膜产生微裂纹(图1-2-2(b));在过大的压应力作用下，薄膜会皱褶甚至脱落(图1-2-2(c))[1]。
图1-2-1 薄膜中的压应力与张应力示意图
(a) 压应 ...... （共1830字） [阅读本文]>>
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