2.2.7 软X射线多层膜分光元件的研制
软X激光腔由软X增益介质与正入射多层膜反射镜和分束镜组成。软X射线激光输出镜通常有两种形式,如图2-2-54(a)和(b)所示,前者由光栅和多层膜组成,在这方面我们研制了位相型光栅和多层膜构成的软X激光输出镜,取得了良好的结果;后者是由无衬底的多层膜构成。
图2-2-54 可以作为X射线激光器输出镜的两种光学元件
(a) 高色散元件; (b) X射线分束镜
如果是在可见光波段,分光镜的制备就非常简单,只要选择基底,在基底上镀上半透半反膜就可以了,但在X射线波段所有材料都存在吸收,对于具有一定厚度(毫米量级)的基底来说,软X射线的透过率很小。由于所有材料的折射率接近于1,多层膜是在非掠入 ...... (共1987字) [阅读本文]>>