2.2.8 反射型软X射线位相光栅的研制
一般光栅具有色分辨衍射的功能,但X射线裸光栅在入射角不大的条件下,其衍射效率是非常低的。把多层膜技术和光栅技术结合起来,则可以大大提高衍射效率。多层膜软X射线衍射元件正是建立在这个基础上的。根据实际可能,采用矩形光栅,设计槽深为15.5 nm,线空比1∶1,光栅周期为0.88 μm。多层膜采用21层Mo/Si材料对, 周期厚度为12.76 nm,对应的中心波长为23.4 nm。该光栅选用全息曝光,离子束刻蚀。多层膜采用离子束溅射技术沉积。该衍射元件的小角X衍射谱和同步辐射实验室测量装置直接测量分别由图2-2-60和图2-2-61给出。在小角X衍射的测量中首先通过θ-2θ测量得到多层膜的主衍射峰,然后在2 ...... (共540字) [阅读本文]>>