2.3.2 多层介质膜光栅的衍射特性分析
用严格矢量理论可以对多层介质膜光栅的衍射特性进行数值计算和分析。研究衍射效率随浮雕光栅的槽深、占宽比、剩余厚度、入射角度、波长、梯形光栅的角度、分层数目、谐波数目以及多层介质膜折射率和厚度误差等因素的变化关系。
2.3.2.1 顶层为HfO2的矩形多层介质膜光栅
多层膜光栅的顶层材料可以是高折射率材料HfO2,也可以是低折射率材料SiO2。首先利用严格耦合波理论对顶层为HfO2的波矩形MDG的衍射特性进行分析。数值计算中取矩形光栅的使用波长为1 053 nm,入射角度为51.2°,光栅的线密度为1 480线/mm,光的偏振态为TE模式。
1) 不同占宽比条件下衍射效率随槽深和剩余厚度的变化关系
图2-3-5中 ...... (共3562字) [阅读本文]>>