2.3.3 多层介质膜脉冲压缩光栅的优化设计
2.3.3.1 优化思路以及方法
用于脉冲压缩系统中的MDG需要提供尽可能高的衍射效率和激光破坏阈值。为满足压缩光栅这种特殊的性能要求和复杂的制备工艺流程,MDG的设计主要包括3个方面的内容:
第一,用于制作MDG的多层介质膜(简称光栅膜)在使用波长处能提供接近100%的反射率,而且在其顶层刻蚀光栅后能在使用波长处提供较高的-1级反射率。
第二,在光栅膜表面制作光刻胶光栅掩模时,要求很少的写入光从光栅膜表面反射回光刻胶,降低驻波效应的影响,从而保证掩模的质量。
第三,脉冲压缩光栅在使用过程中直接和高能量的短脉冲相互作用,电场增强可能成为光栅破坏的主要因素,因此,要尽可 ...... (共4393字) [阅读本文]>>