2.4 雕塑薄膜
雕塑薄膜是生长方向与结构都可以控制的一类薄膜。制备雕塑薄膜很重要的一项技术就是斜入射沉积技术(glancing angle deposition, GLAD),除了倾斜沉积以外,还包括基底予结构技术,场控制技术,光刻技术,嵌合复制技术,化学蚀刻技术等各种可以控制薄膜生长特性和结构特性的技术。
斜入射沉积技术的核心是将基片倾斜一定的角度,控制气流入射方向与基底表面法线方向的夹角,再辅以不同的基底旋转方式,这样就可以得到不同于传统结构、各向异性结构的薄膜,从而使薄膜的性能发生根本变化。对于斜入射沉积制备的雕塑薄膜,当光线垂直入射时,由于结构的各向异性,普通的单色光会分解成两 ...... (共846字) [阅读本文]>>