2.4.1 倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质
雕塑薄膜的生长过程与一般薄膜的生长过程有相似之处。但是,由于斜入射沉积的阴影效应,又有其自身的特点。
阴影效应是斜入射薄膜结构不同于一般薄膜结构的一个最重要的原因。如图2-4-1所示,当蒸发束流倾斜入射时,随着薄膜的生长,处于生长点的原子团簇会遮挡其他相近位置的薄膜的生长。另一方面,一般斜入射沉积都是在室温下进行的,沉积原子的扩散迁移速率非常低,原子不能在薄膜内自由扩散。这样,那些被遮挡的区域就不会再有原子去填充,形成一定的空洞结构。未被遮挡的区域由于能够接收到更多的沉积原子而形成倾斜的柱状结构。一般来说,倾斜柱状结构是沿着蒸发束流的 ...... (共1359字) [阅读本文]>>