3.3.1 激光对光学薄膜破坏的一般规律
3.3.1.1 激光参数与光学薄膜破坏经验关系
1) 大能量激光和高功率激光
大能量激光一般指长脉冲和连续激光,由于激光束作用时间长,单位面积上的能量可达数百至数千焦耳,大能量激光通常引起材料的热破坏,表现为热熔融破坏或热应力炸裂。
高功率激光通常指短脉冲激光,脉冲宽度窄、功率密度很高,所以它与薄膜材料相互作用的时间过程很短。在薄膜线吸收系数足够大的条件下,激光的能量快速沉积,热传导长度很短,甚至来不及传导,导致薄膜局部急剧加热形成薄膜的热炸裂、热熔融、热爆炸、热发射、热击穿等一系列热过程、热力过程或热非线性过程。另一方面,由于高功率激光拥有极高 ...... (共4734字) [阅读本文]>>