3.1.2 DFB激光器结构和制作工艺
通常DFB激光器需要采用二步外延生长的工艺制作。目前半导体晶体最常用和成熟的生长方法是有机金属化学汽相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)和分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)技术。首先在衬底(通常为N型半导体)上生长N型限制层、N型波导层、量子阱有源层和部分P型波导层,在P型波导层上制备光栅。然后做二次外延,生长材料组分略有差别的P型波导层,并继续生长P型限制层及用于欧姆接触电极的顶层,如图3-1所示。另外一种结构将光栅做在N型波导层上。光栅制作在折射率有差别的波导层之间,这种周期性微扰导致以量子阱为核心的波导芯层有效折射率的微扰。这是一种折射率调制 ...... (共1450字) [阅读本文]>>